技术特点
● 该系列微波源可提供:1KW,2KW,3KW,5KW,10KW,五种型号的产品,都采用大功率水冷磁控管,性能先进,工作可靠。
● 系统控制采用单片机与调整管和辅助线圈组成的自控设计方案,同时运用灯丝降压线路实现微波输出功率低波纹,连续可调,它具有稳定性高,寿命长,保护措施完善,操作简单等特点。
● 系统提供手动和编程两种控制方式,并使用数码显示器分别显示输出功率,反射功率和工作时间。
● 本产品广泛地用与CVD金刚石和类金刚石膜、微波等离子体刻蚀、陶瓷烧结、ECR离子源以及其它系统中所需的微波源。
● 系统可根据要求自行选配环行器、电动销钉、水负载、定向耦合器等匹配组件。
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技 术 指 标
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型号
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HMG-2010
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HMG-2020
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HMG-2030
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HMG-2050
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HMG-2100
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工作频率
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2450MHz±15MHz
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输出功率
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0.1~1kw
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0.2~2kw
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0.3~3kw
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0.5~5kw
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1~10kw
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功率稳定度
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±1%(满功率时)
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功 耗
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2kw
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3kw
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4.5kw
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8kw
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15kw
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电源
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308VAC±5%/50MHz三相四线
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冷 却 水
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/min
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/min
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/min
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/min
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/min
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输出波导
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BJ-26带FD-26法兰
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BJ-22带FD-22法兰
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磁控管功率头
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外置
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内置
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微波泄漏
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符合国家标准
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