星形大容积微波等

技术特点及用途

该系统是根据目前最先进的微波结构理念，设计和研制的一套多用途、高稳定中等压强微波等离子体综合实验和加工设备。它具有工作容积大、性能先进、结构独特，使用方便、安全可靠、外形美观，特别适合应用于金刚石、类金刚石薄膜等多种材料的化学汽相沉积（CVD）制备等高新科技领域。

系统选用10套1kW高稳定程控微波功率源（10kW微波功率源）。内部单片机提供方便程控，采用了先进的磁控管灯丝降压跟踪技术，无电容电感滤波的高精度电压反馈调整稳定技术，磁控管水冷技术，以及完善的线路安全闭锁控制系统，使其工作寿命长，电气性能优良，安全可靠，操作简单方便。

本系统采用最新研制的具有特殊结构的微波反应腔和多管全方位分布馈能结构，以及专门设计的微波抑制段，并配以大容积石英放电腔。使微波功率集中，放电均匀，并能充满整个放电腔，从而达到快速大面积沉积薄膜的目的。

采用专门设计的真空管路，并配以直联式机械泵前级抽气，以及薄膜真空测控系统。使系统具备有从大气到1×10-1Pa的中低压强和10K~100Kpa的测量范围，方便控制和读数。

采用三路气体供给和控制系统，内置于设备机柜中，气路短、紧凑、控制调节方便。

系统采用紧凑简洁的主体结构，以及独立的控制单元。使整套设备外形美观，操作简便可靠。