技术特点
● 系统采用HMEP，1kW/2450MHz高稳定程控微波功率源。运用完善的线路安全闭锁控制系统，使该系统工作寿命长，电气性能优良，安全可靠，操作简单方便。
● 微波传输系统由高性能微波环行器，销钉调配器，带反射波取样的水负载以及外部连接波导组成。它确保反射波对磁控管的良好隔离，并能方便地调节最佳匹配，达到微波功率的最佳传输。
● 圆柱形微波反应腔内设多极永磁ECR系统，可在很宽的运行范围内把微波功率耦合给等离子体，在等离子体放电室中产生高密度、高电离度、大面积均匀稳定的微波放电。为确保稳定工作, 腔壁采用双层水冷。
● 多端口等离子体放电腔带6～10个端口，是双层水冷结构的大容积放电腔。
● 系统主要用途： 1）金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究和中试加工；2）基片的刻蚀和灰化；3）作为高密度、宽束离子源；4）低温氧化物的生长；5）等离子体表面处理和其它实验加工。
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技术参数
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工作频率： 2450±50MHz
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输出功率： 0.1 ~ 1kW 连续可调
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功率稳定度： 优于±1%（在额定功率电平）
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输出波导接口： BJ-26 带FD-26标准法兰
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输入电源： 380V±10% 三相四线
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冷却水流量： > /min
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系统驻波系数： VSWR ≤ 1.5
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ECR工作磁场： >875GS
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磁场电源： 50V
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真空系统： /min 涡轮分子泵
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气路系统： 四路MFC量程（可按用户要求选配）
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